看到这个内容时,陈舟的双眼瞬间明亮起来。
n型掺杂,或者说磷掺杂金刚石,之所以难。
是因为磷原子比碳原子大,很难嵌入金刚石晶格。
当磷原子进入金刚石晶格内,会引起晶格扭曲,影响金刚石中的构型、键型和电荷分布。
磷掺杂金刚石中存在大量空位,也会与磷原子形成结合力很强的磷—空位缺陷。
这种缺陷的能级位于金刚石导带底约1.7eV的位置上,可以补偿施主,阻碍磷原子的电离。
进而导致难以获得高质量的磷掺杂金刚石薄膜。
虽然磷的能级位于导带底以下0.58eV,但是这种缺陷却还是存在。
“缺陷的填补……”
陈舟手中的动作加快,鼠标的滚轮不断滑动。
屏幕上的内容被陈舟拉到了共掺杂的部分。
【氮原子处于金刚石晶格中的替代位置,会形成激发能量为1.7eV的深施主能级,在室温下不导电……】
【理论上,磷可以作为浅施主杂质,但磷原子的半径大于碳原子半径,很难掺入金刚石晶格中……】
【理论表明,磷—氮共掺的方法,也许是克服宽禁带和超宽禁带半导体自身补偿的一种有效方法……】
【……】
看到这,陈舟手中的速度不自觉的慢了下来。
如果氮原子能够填补缺陷,磷原子的掺杂就有了空间……
本来是准备先解决n型掺杂问题的,结果这一思考,问题就跳跃到了共掺杂?
因为四十三所的n型掺杂实验,采用的是磷掺杂。
所以在共掺杂中,他们研究的便是磷—氮共掺的方法。
这也使得陈舟就这样把两者联系在了一起。
陈舟不由得在心中笑了笑,但也随即便决定将n型掺杂和共掺杂的问题放在一块解决。
在共掺杂实验中,最早被作为磷源的是PH3,被作为氮源的是N2。
但是,采用这两种气体进行实验时,得到的结果却并不理想。
制备出来的掺杂金刚石膜的电阻率很高。
随后的实验中,磷源和氮源的选择被不断变更。
像是NH4H2P04这种包含磷元素和氮元素的单一掺杂源,也被应用到了研究上。
但得到的金刚石膜的电阻率依然很高。
陈舟又看了一眼四十三所的实验数据,随即开始在草稿纸上整理可以作为氮源和磷源的物质。
在陈舟沉浸在研究中时,房间外的天色已经渐渐暗了下来。
“陈舟。”
被沈靖的声音喊醒,陈舟疑惑的抬起头看着沈靖。
沈靖指了指电脑:“数据分析完成了。”
“噢。”陈舟应了一声,起身走到沈靖旁边看了一眼。
分析的结果和他的预料基本上没有多大差别。
“发给我,我做最后的处理。”
沈靖点点头:“好。”
陈舟转身就准备走回座位,这时沈靖拽住了他,指了指电脑屏幕的右下角。
陈舟看了一眼,这才惊觉居然已经六点半了。
想了想,陈舟并不打算在四十三所加班,还是回酒店舒服些。
于是,两个人把资料整理好,跟彭飞那边说了一声,便离开了四十三所。
陈舟本来还奇怪彭飞居然一下午没过来找他,打电话时才明白过来。
彭飞这会正忙着金刚石薄膜成品的收集呢。
采用改进工艺制备的金刚石薄膜已经完成。
听彭飞的意思,陈舟估计他今晚又会熬夜加班。
而且还不知他一个人……
在外面简单的吃了晚饭,陈舟和沈靖就回到了酒店。
沈靖本打算像先前一样跟到陈舟房间的,结果被陈舟拦了下来。
“晚上好好休息,明天有你忙的。”丢下这么一句话,陈舟就关门进了房间。
门外,沈靖看着被关上的房门,嘀咕道:“这该不会是闭关吧?”
房间里,陈舟迅速打开电脑,掏出草稿纸和错题集。
“就在今晚了……”
只扫了一眼,下午的思路便接续上了。
陈舟再次沉浸于n型掺杂和共掺杂的问题研究中。
原本特意准备的一沓崭新的A4草稿纸,随着时间的推移,渐渐变薄。
而他一直所心疼的笔芯,也在以一种超乎常理的速度,不断流逝在草稿纸上。
错题集上的内容,也在不断的增减着。
“不管氮源和磷源的采用的是什么,目的就只有一个……”
“不管装置内的系统是什么样的,它都始终只为了制备出掺杂的金刚石薄膜……”
陈舟的思路变得清晰起来,方向也逐渐明确。
在四十三所的共掺杂实验中,装置内并没有采用多余的系统作为辅助。
但其实,如果有其它系统辅助的话,可能结果会更好也说不定。
这是国外的一篇文献给陈舟的启发。
把写满的草稿纸拿到一边,换上一张新的草稿纸,再把笔芯换上满水的。
陈舟在草稿纸上写到:
【在NiMnCo—C系统中,采用P2N5、羰基离子粉末和磷粉末在高温高压下混合,提供氮源和磷源,以此方法掺杂金刚石……】
写完这句话,陈舟突然笑了出来。
“这么简单的道理,为什么我还想了这么久?”
相比单纯的氮掺杂金刚石,sp3-CH3形式的H原子更容易掺入磷—氮共掺的金刚石晶格中,提高共掺杂金刚石的质量。
因为在磷—氮共掺系统中,磷原子掺入后产生许多缺陷,形成了碳原子悬挂键,有助于氢原子掺入金刚石晶格。
而氢原子可以刻蚀sp2相,有利于高质量金刚石薄膜的沉积。
“系统和氮源、磷源确定后,那共掺杂实验剩下的问题,就好解决了……”
陈舟说着,把放在一旁的几张草稿纸拿了过来。
这是在研究氮源和磷源时,针对不同情况,陈舟所做的参数研究。
这会,正好拿来验证。
一般的衬底温度、掺杂浓度、工作压力等等等等,通过错题集的试错,很快就能得到一个大致区间。
再经过分析模型的验证,再回转到错题集进一步试错。
那就成了!
把共掺杂的问题一解决,那n型掺杂的问题,也就是铺在纸面上的答案了。